因为仪器长时间使用，反应室内有会有残余物沉积，导致灵敏度降低，分析结果不重复等，所以用户应根据使用情况定期清洗反应室。

清洗过程如下：

（1）  关闭所有电源开关；

（2）  打开机盖和屏蔽盖，拔去暗室高压电源及信号源插头，断开三根连接管线；

（3）  旋开暗室底座（有气路管线的端盖），再旋开反应室压盖螺丝，小心取下压盖、滤光片、石英片；用擦镜纸擦石英片和滤光片，用干净的软布擦拭反应室内壁，如有必要，可沾用丙酮或乙醇擦洗干净，再用氧气吹干；

（4）  反应室清洗完毕，重新按顺序安装。

注意：固定滤光片、石英片时，动作要平稳，紧固程度以保证不漏气即可，谨防滤光片、石英片破裂。滤光片、石英片位置不要装反，石英片在反应室内壁，用于保护滤光片。

（5）  把反应室旋进暗室后，再把三根连接管线接到相对应的气路中去，避免漏光和漏气现象。