超纯水机是一种用于制备超纯水的设备，其工作原理主要包括以下几个关键部分：

预处理

目的：去除原水中的大颗粒杂质、悬浮物、胶体、有机物、余氯等，保护后续的反渗透膜和离子交换树脂等核心部件，延长其使用寿命。

方式：通常采用多介质过滤器、活性炭过滤器、软化器等设备。多介质过滤器通过石英砂、无烟煤等滤料，去除水中的大颗粒杂质；活性炭过滤器利用活性炭的吸附作用，吸附水中的有机物、余氯等；软化器则通过离子交换树脂，去除水中的钙、镁等离子，降低水的硬度。

反渗透

原理：在压力作用下，使水通过半透膜，而水中的盐分、有机物、细菌等杂质被截留在膜的另一侧，从而达到除盐和去除其他小分子杂质的目的。半透膜只允许水分子通过，而对其他物质具有选择性阻挡作用。

作用：这是超纯水机制备过程中的关键步骤，能有效去除水中的大部分盐分、细菌、病毒、有机物等杂质，使水的纯度得到大幅提高。经过反渗透处理后的水，电导率一般可降至几十 μS/cm 以下。

离子交换

原理：利用离子交换树脂上的可交换离子与水中的同性离子进行交换反应，将水中的阴阳离子去除。阳离子交换树脂吸附水中的阳离子，如钠、钙、镁等，释放出氢离子；阴离子交换树脂吸附水中的阴离子，如氯、硫酸根、碳酸根等，释放出氢氧根离子。氢离子和氢氧根离子结合生成水，从而达到去除水中离子的目的。

作用：进一步降低水中的离子含量，提高水的纯度。经过离子交换处理后，水的电导率可达到 μS/cm 级别甚至更低，满足超纯水的要求。

终端过滤

目的：去除水中残留的微小颗粒、细菌、病毒等杂质，确保最终得到的超纯水符合质量标准。

方式：通常采用微孔过滤器、超滤膜过滤器、紫外线杀菌器等设备。微孔过滤器可去除水中的微小颗粒；超滤膜过滤器能截留细菌、病毒等大分子物质；紫外线杀菌器通过紫外线照射，杀灭水中的细菌和病毒，防止微生物滋生。

不同类型的超纯水机可能在具体的工艺流程和设备配置上有所差异，但总体上都是通过预处理、反渗透、离子交换和终端过滤等步骤，逐步去除水中的杂质和离子，制备出高纯度的超纯水。